HSP系列射頻電源可提供1~5kW射頻功率，擁有更強(qiáng)的功率和阻抗測(cè)量性能，能夠在 13.56MHz 固定頻率、50歐姆和非50歐姆負(fù)載下（電壓駐波比 (VSWR) 超過(guò)3:1），帶來(lái)穩(wěn)定的功率輸出和控制性能。能夠快速的與等離子阻抗保持實(shí)時(shí)同步匹配，從而實(shí)現(xiàn)工藝的精確性、可重復(fù)性。
■ 高效E類開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)換模式；
■ 采用高頻晶體管，體積小，壽命長(zhǎng)，損耗低，結(jié)構(gòu)緊湊；
■ 精密閉環(huán)控制，頻率誤差??；
■ 輸出功率穩(wěn)定度高；
■ 配套自動(dòng)匹配模塊，阻抗自動(dòng)匹配；
■ 自動(dòng)匹配有反射系數(shù)小，速度快；
■ 具有限流、限壓、過(guò)流、過(guò)壓及短路等完善的監(jiān)控與保護(hù)功能；
■ 水冷或風(fēng)冷散熱
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