HSP系列射頻電源可提供1~5kW射頻功率,擁有更強的功率和阻抗測量性能,能夠在 13.56MHz 固定頻率、50歐姆和非50歐姆負載下(電壓駐波比 (VSWR) 超過3:1),帶來穩(wěn)定的功率輸出和控制性能。能夠快速的與等離子阻抗保持實時同步匹配,從而實現(xiàn)工藝的精確性、可重復性。
■ 高效E類開關轉換模式;
■ 采用高頻晶體管,體積小,壽命長,損耗低,結構緊湊;
■ 精密閉環(huán)控制,頻率誤差??;
■ 輸出功率穩(wěn)定度高;
■ 配套自動匹配模塊,阻抗自動匹配;
■ 自動匹配有反射系數(shù)小,速度快;
■ 具有限流、限壓、過流、過壓及短路等完善的監(jiān)控與保護功能;
■ 水冷或風冷散熱
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