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HSP-1K

類別：射頻電源

產(chǎn)品名：HSP-1K

產(chǎn)品介紹：

主要用于半導(dǎo)體制造、等離子體清洗、平板顯示等行業(yè)及其它物理裝備。

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產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格

電氣規(guī)格
輸入電壓3×380V
±10% +PE 
輸入電壓頻率47 ~ 64 Hz
輸入電流額定10A
輸入過流保護(hù)10A 斷路器
功效65% 全功率輸出
功率因數(shù)0.90 全功率輸出
輸出頻率13.56MHz, ±0.005%
輸出功率1kW
功率調(diào)節(jié)范圍50W~1kW
負(fù)載阻抗50Ω
通信接口RS485（MODBUS協(xié)議）/模擬用戶口
物理規(guī)格
外形尺寸（長×寬×高）720mm×440mm×89mm
重量20Kg
安裝方式19英寸機(jī)架