應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備離子注入機(jī)的離子引出、加速；電子束引出、加速；電子束焊機(jī)供電、電子束熔煉、高壓電容充電、靜電除塵、熔噴布靜電駐極、等離子體及其它物理裝備。
產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格
| 電氣規(guī)格 | |
| 輸入電壓 | 3×380V±10% +PE |
| 輸入電壓頻率 | 47 ~ 64 Hz |
| 輸入電流 | 額定20A |
| 輸入過流保護(hù) | 30A 斷路器 |
| 最高輸出電壓 | 60KV（-60KV可選） |
| 最大輸出電流 | 300mA |
| 最大輸出功率 | 2KW |
| 工作溫度 | 0-40℃ |
| 保護(hù)功能 | 過壓、超溫、限流， |
| 物理規(guī)格 | |
| 外形尺寸（長×寬×高） | 620mm×440mm×89mm |
| 重量 | 20Kg |
| 安裝方式 | 19英寸機(jī)架 |
| 交流電源輸入 | 220V±10% +PE |
| 用戶通信連接器 | 控制信號方式：模擬（R485通訊可選） |
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