主要用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池PECVD、平板顯示、等離子體清洗等設(shè)備，可用于間歇式脈沖放電工作模式。
產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格
| 電氣規(guī)格 | |
| 輸入電壓 | 3×380V±10% +PE |
| 輸入電壓頻率 | 47 ~ 64 Hz |
| 輸入電流 | 額定32A |
| 輸入過(guò)流保護(hù) | 32A 斷路器 |
| 功效 | 90% 全功率輸出 |
| 輸出頻率 | 40 kHz, ±0.01%正弦波 |
| 輸出功率 | 2×25kW |
| 通信方式 | RS485（MODBUS協(xié)議） |
| 功率調(diào)節(jié)范圍 | 5%至100%的功率調(diào)節(jié) |
| 輸出上升時(shí)間 | 17ms至4.73s可調(diào) |
| 物理規(guī)格 | |
| 外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高） | 720mm×440mm×223mm |
| 重量 | 60Kg |
| 安裝方式 | 19英寸機(jī)架 |
| 冷卻方式 | 水冷（NPT3/8″） |
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